高低溫循環(huán)一體機(jī)中每個(gè)配件的性能都是不同的，我們要充分發(fā)揮每個(gè)配件的作用才能使得高低溫循環(huán)一體機(jī)更好的運(yùn)行，其中低溫泵是主要的配件之一，其安裝的時(shí)候也需要按照要求來進(jìn)行安裝。

低溫泵在安裝的時(shí)候需要注意安裝設(shè)施及要求，前級(jí)泵—低溫泵要求一臺(tái)前級(jí)泵預(yù)抽真空室，抽到低溫泵的啟動(dòng)壓力。吸附井—安裝水冷擋板，如果油蒸汽返到低溫泵，可以使它的吸附陣被污染，則需要更換吸附陣。

高真空閥門安裝在低溫泵與真空室之間，這樣可以縮短啟動(dòng)時(shí)間，還可以實(shí)現(xiàn)在真空室不放氣的情況下，還可以隨時(shí)對(duì)真空室進(jìn)行檢漏。預(yù)抽閥在低溫泵的預(yù)抽接口處，需要安裝一只閥門，該閥門在預(yù)抽是打開的，而在低溫泵運(yùn)行期間是關(guān)閉的，另外還有一只是用來用同一臺(tái)機(jī)械泵對(duì)真空室進(jìn)行預(yù)抽的。

接著安裝低溫泵，高真空法蘭連接，低溫泵可以借助其高真空法蘭固定在真空室需要的任何地方，在安裝前請(qǐng)檢查是否完好，以其表面無壓痕和雜物為準(zhǔn)則。抽氣接口和安全閥的連接，低溫泵在運(yùn)行過程中，不能排氣，所以在啟動(dòng)以前需要利用機(jī)械泵等粗抽泵通過抽氣接口來預(yù)抽低溫泵。要保證把低溫泵的抽氣接口接到相應(yīng)尺寸的前級(jí)泵上去。

連接高低溫循環(huán)一體機(jī)低溫泵和壓縮機(jī)，把低溫泵和壓縮機(jī)，以及金屬軟管上所有自密封接頭上的保帽取下。注意：在如下的步驟中，不可以使用清潔劑去擦拭自密封接頭。在進(jìn)行連接之前接頭上沒有灰塵、油跡、顆粒雜物等，必要時(shí)用一柄刷子去清潔螺紋，用一塊沒有棉絲的軟布去擦拭密封面上的任何贓物。連接金屬軟管，按照氣流方向連接軟管，從壓縮機(jī)開始到低溫泵，然后從低溫泵到壓縮機(jī)，用兩個(gè)扳手去擰緊每一只自密封接頭以保護(hù)軟管不至于扭曲而漏氣，適度擰緊每一只接頭，連接好之后在檢查壓縮機(jī)的壓力表的指示。